《跨越微米,PDL-II 助力達成 Grade B 潔淨挑戰》

面對半導體產業日益嚴格的微污染(Micro-contamination)控制標準,如何確保潔淨室環境真正達到 Grade B 等級?宇創國際貿易引進 PDL-II 粒子檢測燈,透過高強度 UV-A 光源突破人眼視覺極限。這不僅是設備的升級,更是建立『零缺陷』品質信譽的關鍵一步。
半導體潔淨室 Grade B 挑戰:PDL-II 紫外檢測燈如何提升晶圓良率
背景挑戰:當良率卡在「看不見」的細節
隨著半導體製程進入奈米級節點,對於微污染(Micro-contamination)的容忍度已近乎於零。近期,業界客戶提出了前所未有的嚴苛要求:生產環境必須突破傳統工業標準,達到甚至超越醫藥級的「Grade B」潔淨等級標準。
這意味著在靜態環境下,每立方公尺大於 0.5 µm 的懸浮微粒必須嚴格控制在 3,520 顆以內。然而,產線工程師發現,儘管無塵室的空氣過濾系統已全速運轉,晶圓載具(FOUP)與設備腔體表面仍偶爾出現不明微粒,導致良率無法穩定達標。傳統的白光檢查燈在金屬表面反光下,根本無法讓這些微小的落塵現形。
解決方案:PDL-II 的 UV-A 紫外檢測技術
為了應對這項「Grade B」等級的挑戰,品管部門導入了 PDL-II POWERLIGHT (Particle Detection Light)。這款設備針對潔淨室需求提供了三大關鍵優勢:
- 看見人眼所不能見:
PDL-II 搭載了 5 顆高功率的 5瓦 UV-A LED。在特殊波長的照射下,原本隱形的微塵顆粒會產生螢光反應。人眼在一般光線下僅能看到約 50 微米的灰塵,但在 PDL-II 的輔助下,操作員能輕易捕捉到 10 微米至 50 微米 的極微小顆粒。 - 符合潔淨室嚴規:
面對 Grade B 環境對設備本身的高標準,PDL-II 具備 IP67 防護等級,確保機身易於清潔且不產塵。其專屬的感應式充電座避免了金屬接點氧化或磨損產生的微粒風險。 - 靈活切換模式:
工程師在檢查過程中,可透過單一按鈕快速在「100% UV 強光」用於搜尋微塵,與「白光模式」用於一般照明之間切換,大幅提升了檢測效率。
應用成果:零缺陷的品質信譽
透過導入 PDL-II 進行每日的設備與載具表面掃描,該廠成功揪出了幾個關鍵的微塵堆積死角。在嚴格執行 PDL-II 檢測標準作業程序(SOP)後,潔淨室環境數據穩定符合客戶要求的 Grade B 等級,晶圓良率顯著提升,不僅守住了訂單,更建立了「零缺陷」的品質信譽。
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